設備：半導體參數(shù)測試儀B1505A

廠商：Keysight

測試標準：GB/T4023-2015；IEC 60747-2-2016；GB/T4586-1994；IEC 60747-8-2010；GB/T 29332-2012；IEC 60747-9-2015

l  技術(shù)指標：進行寬范圍的電流/電壓測量：達1500A/10KV

l  精確的泄漏電流測量（亞pA能力）

l  精密的導通電阻表征（μΩ分辨率）

l  快至10μs的大功率脈沖測量

l  高壓偏置下的中電流測量能力：500mA@1200V

l  進行高電壓偏置的CV測量

l  最大直流偏置±3000V

l  真旋鈕掃描曲線追蹤儀功能

l  支持輸出波形監(jiān)視的示波器觀察（I/V）功能

l  可溯源至國際標準的大電流/電壓測量

l  可擴展的平臺和體系結(jié)構(gòu)，能隨需求變化添加測量能力

l  提供4種測試模式：曲線測試模式、應用測試模式、傳統(tǒng)測試模式和快速測試模式?？蔀橛脩舨煌钠骷y試選擇，以最大程度地提高測量靈活性。

l  模塊化配置，有10個用于支持模塊的插槽

l  多頻電容測量單元（MFCMU），頻率范圍1KHZ至MHZ

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